Hizmet Cihazı/Sistemi: İyon ekme işlemi
Tek bir element için; 3 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: İyon ekme işlemi
Tek bir element için; 3 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Düşük basınç katkılama fırını
10 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Tam alanlı p ve n-tipi katkılama amaçlı difüzyon fırınları
10 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Service Device/System: Islak tezgahlar
saat
Hizmet Cihazı/Sistemi: Tavlama fırınları
saat
Hizmet Cihazı/Sistemi: Maske hizlayıcı/litografi sistemi
saat
Hizmet Cihazı/Sistemi: Heteroeklem ve ince film Si hücre üretimi için küme cihazı
Tam bir heteroeklem hücre üretimi; adet
Hizmet Cihazı/Sistemi: Heteroeklem ve ince film Si hücre üretimi için küme cihazı
ITO kaplama; adet
Hizmet Cihazı/Sistemi: Heteroeklem ve ince film Si hücre üretimi için küme cihazı
p-amorf Si kaplama; adet
Hizmet Cihazı/Sistemi: Heteroeklem ve ince film Si hücre üretimi için küme cihazı
n-amorf Si kaplama; adet
Hizmet Cihazı/Sistemi: Heteroeklem ve ince film Si hücre üretimi için küme cihazı
i-amorf Si kaplama; adet
Hizmet Cihazı/Sistemi: İnce filmlerin çizilmesi için nano-saniye lazer
saat
Hizmet Cihazı/Sistemi: Oksitleme fırınları
saat
Hizmet Cihazı/Sistemi: Spin coater sistemi
saat
Hizmet Cihazı/Sistemi: Markalama lazeri
saat
Hizmet Cihazı/Sistemi: Elektron demeti buharlaştırma sistemi
Metal bedeli hariç; adet
Hizmet Cihazı/Sistemi: E-demeti ile metal buharlaştırma işlemi
Metal bedeli hariç; 1 buharlaştırma
Hizmet Cihazı/Sistemi: Si dilim desenleme ve eklem izolasyonu amaçlı tam otomatik ıslak tezgahlar
100 adet ve yukarısı (dilim dahil); 50 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Si dilim desenleme ve eklem izolasyonu amaçlı tam otomatik ıslak tezgahlar
1-100 adet (dilim dahil); 50 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Oksijen plazma sistemi
adet
Hizmet Cihazı/Sistemi: Saçtırma ile kaplama sistemi
Malzeme bedeli hariç; adet
Hizmet Cihazı/Sistemi: LPCVD ile ince film Si üretimi
200 nm’den kalın; 20 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: LPCVD ile ince film Si üretimi
100-200 nm; 20 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: LPCVD ile ince film Si üretimi
100 nm’den ince; 20 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Alumina (Al2O3) pasivasyonu amaçlı uzamsal atomik katman biriktirme sistemi (ALD)
30 nm’den kalın; 1 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Alumina (Al2O3) pasivasyonu amaçlı uzamsal atomik katman biriktirme sistemi (ALD)
10-30 nm; 1 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Alumina (Al2O3) pasivasyonu amaçlı uzamsal atomik katman biriktirme sistemi (ALD)
10 nm’den ince; 1 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Elektrokaplama
dilim
Hizmet Cihazı/Sistemi: Silisyum veya Ge kaplama için e-demeti buharlaştırma sistemi
adet
Hizmet Cihazı/Sistemi: Temizlik ve benzeri kimyasal işlem amaçlı ıslak tezgahlar
RCA-1, RCA-2 işlemleri (dilim dahil); 25 dilim üzerinden fiyatlandırılmaktadır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Kontak açma ve malzeme kaldırma/kesme amaçlı pikosaniye lazer
saat
Hizmet Cihazı/Sistemi: Konveyör bant fırında yakma işlemi
Gümüş ve Al baskı birlikte; 10 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Konveyör bant fırında yakma işlemi
Al baskı; 10 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Konveyör bant fırında yakma işlemi
Gümüş baskı; 10 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Dielektrik (SixNy ve SiOxNy) kaplama prosesleri için PECVD
200 nm’den kalın; 20 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Dielektrik (SixNy ve SiOxNy) kaplama prosesleri için PECVD
100-200 nm; 20 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Dielektrik (SixNy ve SiOxNy) kaplama prosesleri için PECVD
100 nm’den ince; 20 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Oksitleme fırını
10 dilim üzerinden fiyatlandırılmıştır
Hizmet Cihazı/Sistemi: Fırınlar
saat
Hizmet Cihazı/Sistemi: Termal buharlaştırma sistemi
Metal bedeli hariç; adet